European Inventor Award
European Inventor Award toegekend aan ASML-onderzoekers Erik Loopstra en Vadim Banine
Het Europees octrooibureau heeft ASML-onderzoekers Erik Loopstra en Vadim Banine een European Inventor Award toegekend. Ze ontvangen deze prijs voor hun bijdrage aan de ontwikkeling van extreme violet lithography (EUV), een revolutionair nieuwe manier om snellere en kleinere chips te produceren. Een essentieel onderdeel van deze techniek, een geavanceerde spiegel, is reeds sinds een half jaar te bewonderen in de vaste presentatie (zaal 13: Water, stroom en data) van Rijksmuseum Boerhaave.
De spiegel behoort tot de gladste oppervlakten ooit geproduceerd. Het spiegeloppervlak vangt het licht op van druppeltjes tin, die in het brandpunt worden gesmolten met een laser. Het licht dat hierbij ontstaat heeft een extreem korte golflengte, en is daarom geschikt om haarscherp heel kleine afbeeldingen te projecteren.
Deze lichtbron is het beginpunt van een uiterst complexe machine die een chipontwerp op een minuscuul plaatje silicium projecteert en ‘inbakt’.